石英玻璃的純度
發布時間：
2021-09-29
純度是石英玻璃的重要指標，對理化性能和使（shǐ）用性能影響甚（shèn）大，如失透性、高溫強度、軟化點、光的傳（chuán）導、熱（rè）穩定性、化學（xué）穩定性（xìng）、耐輻（fú）射性（xìng）、熒光特性（xìng）等；此外，用於半導體工（gōng）業的石英玻璃，對純度的要求更為苛刻，微量的雜質將給半導體材（cái）料（liào）的電性能和壽命以及集成度（dù）帶來嚴重的（de）影響。由（yóu）於（yú）半導體材料的純度要求控（kòng）製在ppb數量級以下，因此石英玻璃則應控製在PPm數量級以適（shì）應半導體工業的需要。B的分（fèn）凝係數近於1,最難除掉，是最有害的雜質之一，Cu、Fe、Ti等（děng）影響半導體的少子壽命，K、Na、Li是單晶材料產生微（wēi）缺陷（xiàn）的有害雜質。
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